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鈦靶材的兩種制備工藝及區(qū)別

發(fā)布時(shí)間：2023-03-28 22:12:48 瀏覽次數(shù) ：

鈦靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、平面顯示屏和家裝汽車(chē)行業(yè)裝飾鍍膜領(lǐng)域，如玻璃裝飾鍍膜和輪轂裝飾鍍膜等。寶雞巨偉鈦業(yè)，將鈦靶材的常用制備工藝，分享如下：

1、鑄造法

鑄造方法是將一定比例的合金材料熔化，然后將熔化的合金溶液倒入模具中，形成鑄錠。加工后形成目標(biāo)材料。鑄造方法通常需要在真空中熔化和鑄造。常用的鑄造方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉。其優(yōu)點(diǎn)是所生產(chǎn)的靶材雜質(zhì)含量低，密度高，可大規(guī)模生產(chǎn);缺點(diǎn)是當(dāng)熔點(diǎn)和密度有顯著差異的兩種或兩種以上金屬熔化時(shí)，使用常規(guī)的熔化方法很難產(chǎn)生成分均勻的合金靶材。

鈦靶材

2、粉末冶金法

粉末冶金是將合金材料按一定的組成比例熔化，然后將熔化的合金溶液鑄造成鑄錠的工藝。將鋼錠損壞，將損壞的粉末靜態(tài)成型，然后在高溫下燒結(jié)，形成目標(biāo)材料。用這種方法制造的靶材的優(yōu)點(diǎn)是其成分均勻;缺陷密度低，雜質(zhì)含量高。常見(jiàn)的粉末冶金行業(yè)有冷壓、真空熱壓和熱等靜壓。